摘要在此示例中針對特定入射角研究了F-theta物鏡的焦點PSF。為了避免因離焦照明導致的焦點偏移而引入的額外計算量根據光的主傳播方向來移動探測器位置。使用VirtualLab的參數耦合工具自動調整探測器的位置。建模任務通過參數耦合自動定位探測器參數耦合允許用戶通過一個小腳本“片段”定義所需系統參數的變化。因此獨立輸入參數值的任何變化都會同時導致從屬(耦合)參數的變化。在此示例中我們將所需檢測器的橫向位置與主光線的位置重合。參數耦合過程為了找到探測器的適當橫向位置通過應用參數耦合代碼段執行附加的光線追跡步驟。可以導入此特定代碼段探測器索引選擇必須在代碼片段的specification選項卡中指定探測器的唯一索引。斜入射現在如果改變平面波光源的傳播方向探測器的位置就會自動調整。在此示例中15°的角度將導致x方向上26.3mm的偏移。性能評估 - 斜入射軸上離軸照明在離軸照明的情況下探測器的位置也會自動調整。在此示例中100μm的位移是由參數耦合自動考慮的。性能評估 - 離軸照明VirtualLab Fusion技術文件信息